Zrozum, w jaki sposób realizowany proces powlekania próżniowego

Powłoka próżniowajest procesem stosowanym do produkcji wysokiej jakości materiałów cienkich filmu. Produkuje cienkie warstwy przez termicznie odparowanie lub rozpylając materiały organiczne lub nieorganiczne na powierzchni podłoża w warunkach próżniowych. W tym artykule szczegółowo wprowadzi wdrożenie powłoki próżniowej.

Proces powlekania próżniowego obejmuje następujące kroki:

1. Wybierz odpowiedni podłoże i materiał

Wybór odpowiedniego podłoża i materiału jest pierwszym krokiem w powładzie próżniowej. Podłożem może być szkło, plastik, metal lub inne nanomateriały. Materiały mogą być organiczne lub nieorganiczne, takie jak metale, półprzewodniki, tlenki lub azotki.

2. Załaduj system powlekania próżniowego

Drugim krokiem jest załadowanie podłoża i materiałów do układu powłoki próżniowej. System powłoki próżniowej obejmuje komorę próżniową, metalową parownik, rozpylacz i system sterowania. Komora próżniowa jest zamkniętą przestrzenią stosowaną do utrzymania środowiska próżniowego, parowniki metalowe i plany to urządzenia używane do odparowywania lub rozpylania materiałów na substratach, a system sterowania służy do monitorowania i regulacji środowiska próżniowego oraz prędkości parowania lub prędkości sputowania.

3. Próżnia

Po załadowaniu materiału i podłoża komora próżniowa powinna zostać ewakuowana. Odkurzanie jest bardzo ważnym krokiem, ponieważ utrzymanie niskiego ciśnienia i środowiska o wysokiej czystości może zagwarantować jakość membrany. Środowisko próżniowe jest zwykle poniżej 10^-6 mbar, aby wykluczyć cząsteczki gazu i inne zanieczyszczenia.

4. Parowanie materiałowe lub rozpylenie

Gdy środowisko próżniowe osiągnie pożądane ciśnienie, materiał można odparować lub rozpylić na podłożu. Istnieją dwie metody odparowywania materiałów: odparowanie termiczne i odparowanie wiązki elektronów. Rozpęczenie ma również dwie metody: rozpylanie magnetronowe i rozpylenie łukowe. Niezależnie od tego, która metoda jest stosowana, należy kontrolować szybkość odparowania lub rozpylania materiału i grubości folii.

5. Zrób film wielowarstwowy

Po sfabrykowaniu membrany jednowarstwowej można ułożyć wiele warstw, aby utworzyć kompozyt. Można zastosować różne materiały i procesy osadzania, takie jak odkładanie naprzemienne, współdziałanie materiału wielofunkcyjnego i osadzanie strefowe.

6. Jakość membrany testowej

Ostatnim krokiem jest przetestowanie jakości membrany. Testy mogą obejmować między innymi grubość, właściwości fizyczne, właściwości optyczne i właściwości elektryczne. Ustal, czy materiał membrany spełnia wymagania zgodnie z wynikami testu.

Krótko mówiąc, technologia powlekania próżniowego jest metodą osiągania wysokiej jakości cienkich warstw. Musi wybrać odpowiedni podłoże i materiał, załadować system powlekania próżniowego, odkurzać, odparować materiał lub sput, wykonać film wielowarstwowy i przetestować jakość filmu. Technologia powlekania próżniowego była szeroko stosowana w dziedzinie elektroniki, optyki, medycznej i energetycznej.