Zasada pracy sprzętu do powlekania jonów próżniowych

Sprzęt próżni jonowych to urządzenie, które wykorzystuje pole elektryczne o wysokim napięciu do przyspieszenia wiązek jonowych i sprawi, że uderzyły je w powierzchnię obiektu, tworząc w ten sposób cienką warstwę. Jego zasadę pracy można podzielić na trzy części, a mianowicie system próżniowy, źródło jonów i cel.
1. System próżniowy
Próżnica jest podstawowym warunkiem obsługi sprzętu do poszycia jonowego, a trzy czynniki jego reakcji to ciśnienie, temperatura i nasycenie. Aby zapewnić dokładność i stabilność reakcji, zapotrzebowanie na próżnię jest bardzo wysokie. Dlatego system próżniowy jest jedną z kluczowych części sprzętu jonowego.
System próżni składa się głównie z czterech części: układu pompowania, systemu wykrywania ciśnienia, systemu kopii zapasowych gazu i systemu zapobiegania upływom. System ekstrakcji powietrza może wyodrębnić gaz w sprzęcie w celu osiągnięcia stanu próżniowego. Ale wymaga to złożonego układu rur i różnych pomp próżniowych, w tym pomp mechanicznych, pomp dyfuzyjnych, pomp molekularnych itp.
System wykrywania ciśnienia może wykryć ciśnienie w komorze próżniowej w czasie rzeczywistym i dostosowywać go zgodnie z danymi. W przypadku wycieku można użyć systemu kopii zapasowych gazu do szybkiego utworzenia próżni. System przeciw przecieków może zapobiec wystąpieniu wycieku, takiego jak uszczelnienie między stroną sprzętu a stroną wyposażenia rurociągu, zamknięcia i otwierania zaworu itp.
2. Źródło jonowe
Źródło jonów jest częścią sprzętu do poszycia jonowego, który generuje wiązkę jonową. Źródła jonowe można podzielić na dwie kategorie: źródła masowe i źródła powlekania. Źródła masowe generują jednolite wiązki jonów, podczas gdy źródła powłoki są używane do tworzenia cienkich warstw określonych materiałów. W komorze próżniowej wytwarzanie jonów zwykle osiąga się przy użyciu wyładowania wzbudzonego w osoczu. Wyładowania indukowane przez osocze obejmują rozładowanie łuku, rozładowanie DC i rozładowanie częstotliwości radiowej.
Źródło jonów składa się zwykle z elektrody cerowej, anody, komory źródłowej jonowej i komory źródłowej powłoki. Wśród nich komora źródła jonów jest głównym korpusem ciała jonowym, a jony są generowane w komorze próżniowej. Komora źródła powłoki zwykle umieszcza solidny cel, a wiązka jonowa bombarduje cel, aby wygenerować reakcję w celu przygotowania cienkiej warstwy.
3. Target
Cel jest podstawą materiału do tworzenia cienkich warstw w sprzęcie jonowym. Materiałami docelowymi mogą być różne materiały, takie jak metale, tlenki, azotki, węgliki itp. Cel jest chemicznie reagowany przez bombardowanie jonami w celu utworzenia cienkiej warstwy. Sprzęt jonowy zwykle przyjmuje proces przełączania docelowego, aby uniknąć przedwczesnego zużycia celu.
Podczas przygotowywania cienkiej warstwy cel zostanie bombardowany przez wiązkę jonową, powodując stopniowe uwięzienie cząsteczek powierzchniowych i skondensowane w cienką warstwę na powierzchni podłoża. Ponieważ jony mogą powodować fizyczne reakcje ograniczania utleniania, gazy takie jak
Streszczać
Sprzęt próżniowy jonowy to rodzaj sprzętu, który tworzy Moire poprzez reakcję jonową. Jego zasada pracy obejmuje głównie system próżniowy, źródło jonów i cel. Źródło jonów generuje wiązkę jonową, przyspiesza ją do pewnej prędkości, a następnie tworzy cienką warstwę na powierzchni podłoża poprzez reakcję chemiczną celu. Kontrolując proces reakcji między wiązką jonową a materiałem docelowym, do przygotowania cienkich warstw można zastosować różne reakcje chemiczne.